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一种具有稳定结构的双极阻变存储器

一种具有稳定结构的双极阻变存储器

IPC分类号 : H01L45/00

申请号
CN202022283787.0
可选规格
  • 专利类型: 实用新型专利
  • 法律状态: 有权
  • 申请日: 2020-10-14
  • 公开号: 212783509U
  • 公开日: 2021-03-23
  • 主分类号: H01L45/00
  • 专利权人: 遵义师范学院

专利摘要

本实用新型涉及存储技术领域,尤其是一种具有稳定结构的双极阻变存储器,采用MgO衬底层、W金属底电极层、TiO2薄膜阻变层、Ti金属顶电极层组成,形成Ti/TiO2/W/MgO结构,在水平方向,采用所述TiO2薄膜阻变层位于所述W金属底电极层中间位置,极大程度方便了各个角度集成应用时的安装,降低了集成难度。

权利要求

1.一种具有稳定结构的双极阻变存储器,其特征在于,包括MgO衬底层(1)、W金属底电极层(2)、TiO2薄膜阻变层(3)、Ti金属顶电极层(4),其中,所述W金属底电极层(2)设在所述MgO衬底层(1)上,所述TiO2薄膜阻变层(3)设在所述W金属底电极层(2)上,所述Ti金属顶电极层(4)设在所述TiO2薄膜阻变层(3)上,且所述TiO2薄膜阻变层(3)位于所述W金属底电极层(2)中间位置。

2.如权利要求1所述的具有稳定结构的双极阻变存储器,其特征在于,所述的Ti金属顶电极层(4)为多个独立的点电极。

3.如权利要求1所述的具有稳定结构的双极阻变存储器,其特征在于,所述的TiO2薄膜阻变层(3)为单晶薄膜。

4.如权利要求1或3所述的具有稳定结构的双极阻变存储器,其特征在于,所述的TiO2薄膜阻变层(3)厚度为100-200nm。

5.如权利要求1所述的具有稳定结构的双极阻变存储器,其特征在于,所述的MgO衬底层(1)为单晶衬底。

6.如权利要求5所述的具有稳定结构的双极阻变存储器,其特征在于,所述的MgO衬底层(1)为100取向的单晶衬底。

7.如权利要求1所述的具有稳定结构的双极阻变存储器,其特征在于,所述的W金属底电极层(2)的厚度为50-200nm。

8.如权利要求1或7所述的具有稳定结构的双极阻变存储器,其特征在于,所述的W金属底电极层(2)上设有至少1个所述TiO2薄膜阻变层(3),且所述TiO2薄膜阻变层(3)上设有至少1个所述Ti金属顶电极层(4)。

9.如权利要求8所述的具有稳定结构的双极阻变存储器,其特征在于,所述的Ti金属顶电极层(4)为多边形或圆形。

10.如权利要求8所述的具有稳定结构的双极阻变存储器,其特征在于,所述的TiO2薄膜阻变层(3)为多边形或圆形。

一种具有稳定结构的双极阻变存储器专利购买费用说明

专利买卖交易资料

Q:办理专利转让的流程及所需资料

A:专利权人变更需要办理著录项目变更手续,有代理机构的,变更手续应当由代理机构办理。

1:专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。

2:按规定缴纳著录项目变更手续费。

3:同时提交相关证明文件原件。

4:专利权转移的,变更后的专利权人委托新专利代理机构的,应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。

Q:专利著录项目变更费用如何缴交

A:(1)直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,(2)通过代办处缴纳,(3)通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式

Q:专利转让变更,多久能出结果

A:著录项目变更请求书递交后,一般1-2个月左右就会收到通知,国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。

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