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一种基于白光干涉零光程差位置拾取算法的微观形貌测量方法

一种基于白光干涉零光程差位置拾取算法的微观形貌测量方法

IPC分类号 : G01B11/24

申请号
CN201810877911.0
可选规格
  • 专利类型: 发明专利
  • 法律状态: 有权
  • 申请日: 2018/8/3
  • 公开号: CN109163672A
  • 公开日: 2019/1/8
  • 主分类号: G01B11/24
  • 专利权人: 广东工业大学

专利摘要

本发明提供一种基于白光干涉零光程差位置拾取算法的微观形貌测量方法。一种基于白光干涉零光程差位置拾取算法的微观形貌测量方法,其中,包括如下步骤:S1.获取白光干涉模板曲线;S2.垂直扫描被测物体,采集干涉条纹,获取采样点;S3.用重心法或极值法快速粗定位零光程差点;S4.确定搜索范围,取零光程差点周围一定范围内若干个采样点作为待匹配点;S5.用待匹配点与模板曲线在搜索范围内进行匹配,得到精定位的零光程差点;S6.根据零光程差与形貌高度的相关关系得到精确的物体表面形貌的相对高度,进而重建被测物体的3D形貌。本发明算法简单,速度快,精度高,抗噪能力较强。

专利附图

一种基于白光干涉零光程差位置拾取算法的微观形貌测量方法

一种基于白光干涉零光程差位置拾取算法的微观形貌测量方法专利购买费用说明

专利买卖交易资料

Q:办理专利转让的流程及所需资料

A:专利权人变更需要办理著录项目变更手续,有代理机构的,变更手续应当由代理机构办理。

1:专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。

2:按规定缴纳著录项目变更手续费。

3:同时提交相关证明文件原件。

4:专利权转移的,变更后的专利权人委托新专利代理机构的,应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。

Q:专利著录项目变更费用如何缴交

A:(1)直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,(2)通过代办处缴纳,(3)通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式

Q:专利转让变更,多久能出结果

A:著录项目变更请求书递交后,一般1-2个月左右就会收到通知,国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。

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