专利摘要
本发明涉及一种测试电沉积应力的方法,包括以具有金属表面的布拉格光纤光栅传感器为阴极进行电沉积过程;获得随电沉积时间T变化的所述布拉格光纤光栅传感器的中心波长的偏移量;获得随电沉积镀层厚度d变化的所述布拉格光纤光栅传感器的应力灵敏度;将所述布拉格光纤光栅传感器的中心波长的偏移量乘以所述布拉格光纤光栅传感器的应力灵敏度的倒数即得电沉积应力。本发明的测试方法简单、精度高、适于实时在线测试、可用于电沉积多层薄膜及对称结构薄膜时的应力测试,且尤其适合在圆柱形器件上电沉积薄膜时的应力测试。
专利附图
一种测试电沉积应力的方法专利购买费用说明
Q:办理专利转让的流程及所需资料
A:专利权人变更需要办理著录项目变更手续,有代理机构的,变更手续应当由代理机构办理。
1:专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。
2:按规定缴纳著录项目变更手续费。
3:同时提交相关证明文件原件。
4:专利权转移的,变更后的专利权人委托新专利代理机构的,应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。
Q:专利著录项目变更费用如何缴交
A:(1)直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,(2)通过代办处缴纳,(3)通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式
Q:专利转让变更,多久能出结果
A:著录项目变更请求书递交后,一般1-2个月左右就会收到通知,国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。
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