专利摘要
本实用新型涉及一种在线无损检测极紫外激光脉冲能量及光束空间位置的装置。本实用新型中的第一电离室和第二电离室均由真空腔室和真空泵组成，真空腔室由真空泵独立抽真空；第一电离室和第二电离室均安装有真空计和针阀；第一电离室内还配备电阻温度计，用于检测第一电离室内的环境温度。本实用新型中的带电粒子检测器包括离子约束电极板，加速电极板，分裂电极板，电流计，微型通道电子倍增管以及示波器。本实用新型对待测激光的脉冲能量及其空间位置信息实现同时在线无损检测，简化了检测的操作流程，兼顾了激光的检测与使用，使检测装置后端的用户用光效率大为提高，所获取的待测激光的检测参数更具时效性和精确性。
权利要求
1.一种无损检测极紫外激光脉冲能量及光束空间位置的装置，其特征在于，包括第一电离室，第二电离室，带电粒子检测器和差分抽系统；
所述第一电离室和第二电离室均由真空腔室（1）和真空泵（2）组成，真空腔室（1）由真空泵（2）独立抽真空，为检测极紫外激光脉冲能量及光束空间位置提供高真空环境；
第一电离室和第二电离室均安装有真空计（3）和针阀（4），其中真空计（3）用于实时测量充有稀薄的稀有气体的电离室内的真空度，针阀（4）用于控制充入电离室的稀有气体的流量，与真空泵（2）配合以维持电离室内的恒定压力；第一电离室内还配备电阻温度计（5），用于检测第一电离室内的环境温度；
所述带电粒子检测器包括离子约束电极板（6），加速电极板（7），分裂电极板（8），电流计（9），微型通道电子倍增管（10）以及示波器（11）；
所述加速电极板（7）由两块中心处开孔并覆盖栅网的电极板组成，通过在电极板上面分别施加正负电压而形成电场，极紫外激光传输方向上因光电离产生的电子与离子在电场的作用下分别加速投射至分裂电极板（8）；
所述离子约束电极板（6）由多片圆环型电极板组装而成，主要是将处于加速电极板（7）边缘或者可能逃逸出加速电极板（7）的离子拉回至分裂电极板（8）的有效探测区域内；
所述分裂电极板（8）由两块电极板拼接而成，两者之间相互绝缘，其中离子信号检测端的分裂电极板（8）的中心处留有覆盖栅网的矩形小孔，便于极其少量的离子透过栅网进入微型通道电子倍增管（10），离子信号检测端的分裂电极板（8）上连接的电流计（9）分别测量两块电极板上一定时间内积累的离子所形成的平均电流；离子信号检测端的分裂电极板（8）后端连接微型通道电子倍增管（10）及示波器（11），电子信号检测端的分裂电极板（8）后端直接连接示波器（11），分别用于测量单脉冲的离子信号或电子信号；
所述微型通道电子倍增管（10）用于放大透过栅网的那部分离子信号，随后通过与微型通道电子倍增管（10）连接的示波器（11）测得的脉冲离子飞行时间谱，从而得出离子的平均电荷量；
所述电子信号检测端的示波器（11）所测得的脉冲电子信号仅作为相对值，通过对设定时间内的脉冲电子信号进行积分，并与电流计（9）测得的平均电流信号进行相互校准；
在第一电离室内，带电粒子检测器的加速电极板（7）与分裂电极板（8）在y轴方向上依次排列，主要用于在线无损检测极紫外激光的脉冲能量及光束在x轴方向的偏移位置及偏移距离，在第二电离室内，带电粒子检测器的加速电极板（7）与分裂电极板（8）在x轴方向上依次排列，用于在线无损检测极紫外激光在y轴方向的偏移位置及偏移距离，所述的x轴和y轴为参考坐标系中的两根轴，参考坐标系中的另一根轴，即z轴穿过分裂电极板（8）中心线；
所述差分抽系统由多级腔室（12）及真空泵（2）组成，该系统分别安装在第一电离室前端、第二电离室后端以及第一电离室与第二电离室之间，使真空腔室内的稀有气体完全束缚在整套检测装置之内，且第一电离室与第二电离室内之间互不干扰，确保在线检测时不影响检测装置前端极紫外激光的制备、传输以及后端的激光使用。
2.根据权利要求1所述的一种无损检测极紫外激光脉冲能量及光束空间位置的装置，其特征在于，所述真空泵（2）均为磁悬浮分子泵，分别通过刀口法兰与真空腔室（1）和多级腔室（12）密封连接。
3.根据权利要求1所述的一种无损检测极紫外激光脉冲能量及光束空间位置的装置，其特征在于，所述电流计（9）为皮安计。
4.根据权利要求1所述的一种无损检测极紫外激光脉冲能量及光束空间位置的装置，其特征在于，所述第一电离室、第二电离室以及各个差分抽系统之间均通过两端焊接刀口法兰的可伸缩焊接波纹管进行非刚性密封衔接，确保整套检测装置的气密性与可调性，通过配合调节第一电离室、第二电离室的安装位置及其与分裂电极板（8）的相对位置，使分裂电极板（8）中心线调至参考坐标系的z轴，确保光束空间位置所测数值的精确性。
一种无损检测极紫外激光脉冲能量及光束空间位置的装置专利购买费用说明
Q：办理专利转让的流程及所需资料
A：专利权人变更需要办理著录项目变更手续，有代理机构的，变更手续应当由代理机构办理。
1：专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。
2：按规定缴纳著录项目变更手续费。
3：同时提交相关证明文件原件。
4：专利权转移的，变更后的专利权人委托新专利代理机构的，应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。
Q:专利著录项目变更费用如何缴交
A：（1）直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,（2）通过代办处缴纳，（3）通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式
Q：专利转让变更，多久能出结果
A：著录项目变更请求书递交后，一般1-2个月左右就会收到通知，国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。
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