专利摘要
本发明实施例公开了一种承载盘旋转控制装置及其控制方法,通过不断检测承载盘转速并与预先设定的目标转速相比较,从而形成反馈调节来调节承载盘转速,同时根据检测到的承载盘的实时转速调节出适合该实时转速的反应腔气体环境,解决了在转速调整过程中反应腔体环境与实时转速不对应的问题。本发明实施例方法包括:承载盘转速控制模块、反应腔体气体控制模块、伺服电机和气动阀,所述承载盘转速控制模块分别与所述反应腔体气体控制模块和所述伺服电机通信连接,所述反应腔体气体控制模块和所述气动阀通信连接。
专利附图
一种承载盘旋转控制装置及其控制方法专利购买费用说明
Q:办理专利转让的流程及所需资料
A:专利权人变更需要办理著录项目变更手续,有代理机构的,变更手续应当由代理机构办理。
1:专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。
2:按规定缴纳著录项目变更手续费。
3:同时提交相关证明文件原件。
4:专利权转移的,变更后的专利权人委托新专利代理机构的,应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。
Q:专利著录项目变更费用如何缴交
A:(1)直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,(2)通过代办处缴纳,(3)通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式
Q:专利转让变更,多久能出结果
A:著录项目变更请求书递交后,一般1-2个月左右就会收到通知,国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。
动态评分
0.0