专利摘要
本发明公开一种基于飞秒激光的大规模阵列石墨烯纳机电谐振器制备方法,在SiO2/Si衬底的表面溅射TiW合金和Au,通过化学汽相淀积法制备出单层石墨烯薄膜,将单层石墨烯薄膜转移到TiW/Au连线之上;采用飞秒激光扫描切割相邻两个TiW/Au连线和相邻两个Au电极片之间的单层石墨烯薄膜区域,形成阵列石墨烯纳机电谐振器,飞秒激光能量密度大于0.16~0.21J/cm2;本发明结合传统的CMOS工艺与飞秒激光微加工技术该制备过程,完全采用自下而上的制备工艺,既不需要旋涂光刻胶,又规避了等离子体刻蚀,减少了对石墨烯的二次污染,大大提高了纳机电谐振器的谐振频率和品质因数,同时也极大降低了制作成本。
专利附图
基于飞秒激光的大规模阵列石墨烯纳机电谐振器制备方法专利购买费用说明
Q:办理专利转让的流程及所需资料
A:专利权人变更需要办理著录项目变更手续,有代理机构的,变更手续应当由代理机构办理。
1:专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。
2:按规定缴纳著录项目变更手续费。
3:同时提交相关证明文件原件。
4:专利权转移的,变更后的专利权人委托新专利代理机构的,应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。
Q:专利著录项目变更费用如何缴交
A:(1)直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,(2)通过代办处缴纳,(3)通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式
Q:专利转让变更,多久能出结果
A:著录项目变更请求书递交后,一般1-2个月左右就会收到通知,国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。
动态评分
0.0