专利摘要
本发明公开了一种基于光谱调制度深度编码的微结构形貌测量方法及其装置。被测元件与空间光调制器在测量所采用光谱范围的中心波长下呈物像共轭；光束折转耦合器、空间光调制器、准直扩束镜头、分束器、轴向非消色差显微物镜、成像镜头和彩色相机之间呈共光路结构。测量时，先对系统装置进行“光谱—深度”对应关系的预标定，再经测量装置采集被测元件反射的各帧单色移相条纹图，得到与被测件面形相关的各单色光条纹图的调制度分布，获取编码图像；采用高斯、类高斯或样条模型拟合确定待测面上各点的“光谱—调制度”关系曲线，解调得到对应的待测面上各点的深度信息，完成被测元件三维形貌分布微结构形貌的无机械式扫描、全场非接触的快速高精度测量。
专利附图
一种基于光谱调制度深度编码的微结构形貌测量方法及其装置专利购买费用说明
Q：办理专利转让的流程及所需资料
A：专利权人变更需要办理著录项目变更手续，有代理机构的，变更手续应当由代理机构办理。
1：专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。
2：按规定缴纳著录项目变更手续费。
3：同时提交相关证明文件原件。
4：专利权转移的，变更后的专利权人委托新专利代理机构的，应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。
Q:专利著录项目变更费用如何缴交
A：（1）直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,（2）通过代办处缴纳，（3）通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式
Q：专利转让变更，多久能出结果
A：著录项目变更请求书递交后，一般1-2个月左右就会收到通知，国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。
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