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一种LED晶片清洗烘干装置

一种LED晶片清洗烘干装置

IPC分类号 : H01L33/00,H01L21/67

申请号
CN201610800992.5
可选规格
  • 专利类型: 发明专利
  • 法律状态: 有权
  • 申请日:
  • 公开号:
  • 公开日: 2018-11-16
  • 主分类号: H01L33/00
  • 专利权人: 合肥钰芹信息科技有限公司

专利摘要

本发明涉及一种LED晶片清洗烘干装置,包括操作台、转盘和烘干筒,所述操作台上方设有传送带A,所述操作台上设有数个用于刷去晶片表面颗粒物的可旋转的毛刷;所述毛刷一端位于操作台上,另一端位于传送带A上方,紧贴传送带A上表面;所述转盘一侧通过一铰链与上盖连接;所述转盘内部中央设有一转轴,所述转轴连接数个转叶;所述转盘底部设有多个排液孔;所述转盘通过一转移筒连接烘干筒;所述烘干筒内部设有一传送板B;所述转盘上方和下方均设有喷嘴。本发明可以解决在LED晶片生产过程中晶片表面被污染的问题。

权利要求

1.一种LED晶片清洗烘干装置,包括操作台、转盘和烘干筒,其特征在于:所述操作台上方设有传送带A,所述操作台上设有数个用于刷去晶片表面颗粒物的可旋转的毛刷;所述毛刷一端位于操作台上,另一端位于传送带A上方,紧贴传送带A上表面;所述转盘一侧通过一铰链与上盖连接;所述转盘内部中央设有一转轴,所述转轴连接数个转叶;所述转盘底部设有多个排液孔;所述转盘通过一转移筒连接烘干筒;所述烘干筒内部设有一传送板B;所述转盘上方和下方均设有喷嘴,所述传送带A一端通过传送板A连接转盘,所述转盘上盖上设有数个排液孔,所述烘干箱内壁上设有加热丝,所述转盘底部设有一可抽挡板,挡板与转移筒相连接;

通过将晶片放置在传送带A上,随着传送带A的转动,晶片进入毛刷转动范围内,毛刷对晶片进行刷洗,刷去表面的颗粒物;当晶片被传送至传送板A进入转盘时,由于转盘内的转叶随着转轴转动,将晶片均匀带至转盘的内部,然后盖紧上盖,打开喷嘴,加快转轴转动,喷嘴喷出的清洗剂通过上盖的进液孔进入转盘,通过转盘底部的排液孔排出;清洗完成后,关闭喷嘴,加速转叶旋转,进行晶片甩干;甩干完成后,减缓转叶旋转,抽开挡板,晶片掉落在传送带B上,进入烘干筒烘干;烘干完成后通过传送板B传送出。

2.根据权利要求1所述的一种LED晶片清洗烘干装置,其特征在于,所述毛刷两两一对,排列在传送带A的两侧。

3.根据权利要求1所述的一种LED晶片清洗烘干装置,其特征在于,所述上盖一侧设有一圈用于盖紧上盖的卡条。

说明书

技术领域:

本发明涉及一种LED晶片清洗烘干装置,属于照明领域。

背景技术:

LED芯片的制造工艺流程:外延片→清洗→镀透明电极层→透明电极图形光刻→腐蚀→去胶→平台图形光刻→干法刻蚀→去胶→退火→SiO2沉积→窗口图形光刻→SiO2腐蚀→去胶→N极图形光刻→预清洗→镀膜→剥离→退火→P极图形光刻→镀膜→剥离→研磨→切割→芯片→成品测试。

在制作过程中清洗是尤为重要的环节,如若清洗不彻底,将会造成晶片无法使用,造成极大的浪费。

发明内容:

本发明要解决的技术问题是提供一种可以解决在LED晶片生产过程中晶片表面被污染的问题。

为了解决背景技术所存在的问题,本发明是采用以下技术方案:

一种LED晶片清洗烘干装置,包括操作台、转盘和烘干筒,所述操作台上方设有传送带A,所述操作台上设有数个用于刷去晶片表面颗粒物的可旋转的毛刷;所述毛刷一端位于操作台上,另一端位于传送带A上方,紧贴传送带A上表面;所述转盘一侧通过一铰链与上盖连接;所述转盘内部中央设有一转轴,所述转轴连接数个转叶;所述转盘底部设有多个排液孔;所述转盘通过一转移筒连接烘干筒;所述烘干筒内部设有一传送板B;所述转盘上方和下方均设有喷嘴。

进一步的,所述传送带A一端通过传送板A连接转盘。

进一步的,所述转盘底部设有一可抽挡板,挡板与转移筒相连接。

进一步的,所述毛刷两两一对,排列在传送带A的两侧。

进一步的,所述转盘上盖上设有数个进液孔。

进一步的,所述上盖一侧设有一圈用于盖紧上盖的卡条。

进一步的,所述烘干箱内壁上设有加热丝。

将晶片放置在传送带A上,随着传送带A的转动,晶片进入毛刷转动范围内,毛刷对晶片进行刷洗,刷去表面的颗粒物;当晶片被传送至传送板A进入转盘时,由于转盘内的转叶随着转轴转动,将晶片均匀带至转盘的内部,然后盖紧上盖,打开喷嘴,加快转轴转动,喷嘴喷出的清洗剂通过上盖的进液孔进入转盘,通过转盘底部的排液孔排出。清洗完成后,关闭喷嘴,加速转叶旋转,进行晶片甩干;甩干完成后,减缓转叶旋转,抽开挡板,晶片掉落在传送带B上,进入烘干筒烘干。烘干完成后通过传送板B传送出。

本发明有益效果为:结构简单,提高晶片良好率,节约资源。

附图说明:

图1为本发明整体结构平面图;

附图中的标记:1、传送带A;2、毛刷;3、卡条;4、上盖;5、铰链;6、转叶;7、传送带B;8、烘干筒;9、排液孔;10、转盘;11、操作台。

图2为本发明整体结构示意图;

附图中的标记:12、喷嘴;13、挡板;14、传送板A;15、转移筒;16、传送板B。

具体实施方式:

为了使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案,下面将结合附图对本发明作进一步的详细介绍。

请参考图1,图1为本发明所提供一种具体实施方式的结构示意图。

一种LED晶片清洗烘干装置,包括操作台、转盘和烘干筒,所述操作台上方设有传送带A,所述操作台上设有数个用于刷去晶片表面颗粒物的可旋转的毛刷;所述毛刷一端位于操作台上,另一端位于传送带A上方,紧贴传送带A上表面;所述转盘一侧通过一铰链与上盖连接;所述转盘内部中央设有一转轴,所述转轴连接数个转叶;所述转盘底部设有多个排液孔;所述转盘通过一转移筒连接烘干筒;所述烘干筒内部设有一传送板B;所述转盘上方和下方均设有喷嘴。

作为本发明的一种优选实施例,所述传送带A一端通过传送板A连接转盘。

作为本发明的一种优选实施例,所述转盘底部设有一可抽挡板,挡板与转移筒相连接。

作为本发明的一种优选实施例,所述毛刷两两一对,排列在传送带A的两侧。

作为本发明的一种优选实施例,所述转盘上盖上设有数个进液孔

作为本发明的一种优选实施例,所述上盖一侧设有一圈用于盖紧上盖的卡条。

作为本发明的一种优选实施例,所述烘干箱内壁上设有加热丝。

一种LED晶片清洗烘干装置专利购买费用说明

专利买卖交易资料

Q:办理专利转让的流程及所需资料

A:专利权人变更需要办理著录项目变更手续,有代理机构的,变更手续应当由代理机构办理。

1:专利变更应当使用专利局统一制作的“著录项目变更申报书”提出。

2:按规定缴纳著录项目变更手续费。

3:同时提交相关证明文件原件。

4:专利权转移的,变更后的专利权人委托新专利代理机构的,应当提交变更后的全体专利申请人签字或者盖章的委托书。

Q:专利著录项目变更费用如何缴交

A:(1)直接到国家知识产权局受理大厅收费窗口缴纳,(2)通过代办处缴纳,(3)通过邮局或者银行汇款,更多缴纳方式

Q:专利转让变更,多久能出结果

A:著录项目变更请求书递交后,一般1-2个月左右就会收到通知,国家知识产权局会下达《转让手续合格通知书》。

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